EntrambiPompa a vuoto e compressoresono dispositivi per l'elaborazione di gas, ma i loro principi di lavoro e la portata dell'applicazione sono diversi.
La funzione principale della pompa del vuoto è quella di rimuovere il gas dalla camera di reazione per ridurre la pressione nel contenitore per ottenere un grado di vuoto predeterminato. Il gas viene estratto dallo spazio attraverso l'aspirazione e il meccanismo di scarico per formare uno stato di vuoto. Le pompe a vuoto vengono generalmente utilizzate nei laboratori, nella produzione e nei campi di produzione. In Wafer FAB, attrezzature per l'attacco, attrezzature per la deposizione, attrezzatura litografica EUV, attrezzatura per impiantazione ionica, attrezzatura di rilevamento e caratterizzazione, ecc. Tutti devono essere aspirati.
La funzione del compressore è di inalare il gas e comprimerlo, aumentare la pressione del gas, comprimere il gas in un volume più piccolo e aumentare la densità e la pressione del gas. Il suo principio di lavoro è comprimere il gas attraverso la valvola di scarico e quindi mettere il gas compresso in un serbatoio del gas o altre attrezzature. I compressori vengono generalmente utilizzati nei campi di lavorazione e produzione. Il gas CDA di cui parliamo spesso è fornito dal compressore. Il CDA viene utilizzato per controllare varie apparecchiature di automazione e valvole. Per la produzione di semiconduttori, il CDA deve essere molto puro e secco. L'uscita dell'aria per il compressore deve passare attraverso un sofisticato sistema di filtrazione per rimuovere olio, umidità e altre particelle per garantire che non vi sia contaminazione del wafer.
Quali sono le categorie diPompa a vuoto e compressore?
Nell'apparecchiatura a semiconduttore, vengono comunemente utilizzate pompe a secco e pompe molecolari. Una pompa secca si riferisce a una pompa a vuoto che non utilizza alcun liquido come mezzo di tenuta o raffreddamento, evitando il problema della contaminazione da vapore dell'olio. Viene generalmente utilizzato per l'estrazione del vuoto approssimativo di apparecchiature a semiconduttore. Le pompe molecolari possono raggiungere livelli di vuoto estremamente elevati. Le pompe a secco e le pompe molecolari sono spesso utilizzate in combinazione in apparecchiature a semiconduttore per soddisfare le esigenze di diversi livelli di sottovalutazione.
I compressori possono essere divisi in pistone, vite, centrifugo, compressori di aria a vite rotante, ecc.
A causa dei diversi progetti e principi di lavoro della pompa del vuoto e del compressore, le pompe per vuoto non possono solitamente sostituire i compressori. Sebbene le pompe a vuoto possano ridurre la pressione e la densità dei gas, non possono comprimere i gas in volumi più piccoli e pressioni più elevate. Inoltre, a causa delle prestazioni limitate e delle caratteristiche di lavoro delle pompe per vuoto, sono più adatti alla gestione di gas a bassa densità e ambienti a bassa pressione.
Pertanto, se il gas deve essere compresso in un volume più piccolo e una pressione più elevata, è necessario utilizzare un compressore. Al contrario, se il gas deve essere estratto e si forma uno stato di vuoto, è necessario utilizzare una pompa a vuoto.
Anche se entrambiPompa a vuoto e compressoreSono dispositivi utilizzati per elaborare il gas, ci sono grandi differenze nel principio di progettazione e di lavoro. Sebbene la pompa del vuoto possa ridurre la pressione e la densità del gas, non può sostituire il compressore, specialmente quando il gas deve essere compresso in un volume più piccolo e una pressione più elevata.
